“了不起啊，小陸，你們了不起啊。”

沙領導滿意道：“我記得是7年前還是8年前，也是在這裡，你讓我看的是65nm乾式光刻機，還向我保證絕對能搞出屬於我們自己的國產的浸潤式光刻機，我本來以為要花10年甚至更長的時間，沒想到你給了我們一個大大的驚喜啊！這麼快讓你們搞出來了！”

“哪裡，哪裡，領導。”

陸飛露出謙虛而內斂的笑容。

“說說吧，到底是怎麼搞出來的？”

沙領導眼裡滿是讚賞之色。

“其實這並不是邏輯和中微兩家的功勞，我們只負責整體的統籌排程和整合研發。”

陸飛笑道：“duv浸潤式光刻機能成功，完完全全歸功於參與到整個專案的全體員工、科研人員們，是他們的血汗和信念，才有了今天的光刻機，當然也離不開領導們的支援，地方上的政策，還有相關公司、院校、國企單位的合作。”

頓了頓，“可以說，這臺duv浸潤式光刻機凝結了華夏半導體從業人員的智慧和野心，也代表著目前國內光刻機的最高水平，距離國際一線的euv光刻機，只有一代的代差了。”

“生產7nm的良品率是多少？”

鄭韓臉上掛著得意的笑容。

畢竟，如此國之重器出自張江技術園區，滬市毫無疑問當得上“華夏半導體之都”。

“不同的晶片不同的良率，但基本能穩定在70％，慢慢除錯改進，可以達到80％。”

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