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447 完美的閉環

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等林本建出來,三人邊吃邊聊,衛向東正式向林本建發出邀請,希望他到大陸繼續研究紫外光(EUV)光刻,將來在眾芯科技專門成立一個部門由他負責,同樣可以給予眾芯科技的股份。

“林先生,如果你還有什麼要求,我們都可以談。”衛向東的態度很誠懇。

林本建沉默了下開口說道:“衛先生,或許你不清楚,研發13.4奈米的極紫外光(EUV)遙不可及而且耗費巨大,現在光刻機還卡在193奈米這個這個階段。”

“我知道,極紫外光(EUV)是光刻機發展的未來,而193奈米這道坎終將會被邁過。”衛向東笑回答道。

林本建聽了笑了起來:“衛先生,你是個局外人,竟然比我們這些局內人還充滿自信?”

“或許正是因為我是個局外人,所以和你看問題角度不同,光刻機停留在193奈米已經好幾年了吧?所謂厚積薄發該到突破的時候。不是有一種叫什麼浸潤式光刻嗎?我看那個法子就行。”衛向東說道。

“浸潤式光刻?衛先生你也認為浸潤式可行?!”林本建的聲音突然變得激動起來。

不是我認為行,是因為歷史最後證明這個法子行!

衛向東實在不明白這個林本建為何如此激動,旁邊的張如京才告訴他,在80年代末期,林本建就提出隨著晶片精度越來越高,光刻機的精度最終會遇到瓶頸,可以用浸潤式原理解決這個問題。

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